布魯克ContourGT-X3 三維光學顯微鏡：

生產(chǎn)就緒的設計和可靠性

ContourGT-X結(jié)合了布魯克獲得的烙鐵頭/傾斜頭，獲得自校準激光基準，集成的圖案識別以及許多其他專有的干涉測量技術創(chuàng)新，以提供高產(chǎn)量的極其精確的表面計量。該系統(tǒng)的自動化就緒配置可在幾乎任何生產(chǎn)環(huán)境中進行快速優(yōu)化，其功能包括用于提高X，Y，Z晶片放置精度的空氣穩(wěn)定器套件以及用于集成的PDU，EMO和真空系統(tǒng)，以及用于自動裝載機末端的改進的真空吸盤。 -效果器兼容性。

高精度平臺，可實現(xiàn)分辨率的成像

ContourGT-X電動XY工作臺在X和Y方向上提供12英寸編碼運動。該平臺支持自動例程，例如多點數(shù)據(jù)收集，以及用于大面積分析的縫合功能。0.5微米編碼器可提供可靠，可重復的自動化和樣品定位。通過直觀的操縱桿和軟件界面控件，操作員可以輕松進行樣品定位。

直觀的表面測量和分析軟件

布魯克的Vision64®操作和分析軟件提供了業(yè)界功能，簡化的圖形用戶界面，將智能體系結(jié)構與直觀的可視工作流以及廣泛的用戶定義的自動化功能相結(jié)合，可進行快速，全面的數(shù)據(jù)收集和分析。*的生產(chǎn)界面可讓ContourGT-X適應幾乎所有生產(chǎn)環(huán)境和自動化流程。該界面提供了用于自定義過程工作流，自動映射和負載測量配方的工具。

布魯克ContourGT-X3 三維光學顯微鏡：

ContourGT-X 3D光學輪廓儀

用于研發(fā)和生產(chǎn)的自動化，可計量的計量

ContourGT-X 3D光學輪廓儀為實驗室研究和生產(chǎn)過程控制提供了性能的非接觸表面測量。作為十代白光干涉測量技術創(chuàng)新和設計的之作，該計量系統(tǒng)在業(yè)界大的視野范圍內(nèi)提供了的垂直分辨率。主要功能包括全自動，大型電動X，Y，Z平臺，頭部的傾斜/傾斜以及集成的空氣隔離臺。

ContourGT-X專為滿足苛刻的研發(fā)，質(zhì)量保證和過程質(zhì)量控制需求而全新設計，可提供具有標準規(guī)格的3D光學精度和耐用性。