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XD-1000光譜分析儀是一款全元素上照式熒光光譜儀，可測量納米級厚度、微小樣品和凹槽異形件 的膜厚，可選配自動平臺實(shí)現(xiàn) XYZ 軸編程位移，實(shí)現(xiàn)無人值守多點(diǎn)測量，測量軟件置入* 的 EFP 算法及解譜技術(shù)，解決了諸多業(yè)界難題。

XAU熒光光譜分析儀XAU 是一款一機(jī)多用型光譜儀，應(yīng)用了*的 EFP 算法和微光聚集技術(shù)，既保留了專用 測厚儀檢測微小樣品和凹槽的膜厚性能，又可滿足成分分析。 被廣泛用于各類產(chǎn)品的質(zhì)量管控、來料檢驗(yàn)和對生產(chǎn)工藝控制的測量使用。